ディスプレイ製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

P4B

MKS Instruments

次世代高性能マルチガス・マルチレンジ、5~50,000sccm マスフローコントローラ

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P2A

MKS Instruments

高性能マスフローコントローラ

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IE250A

MKS Instruments

IP66対応マルチガス・マルチレンジ、エラストマーシール100-250slmマスフローコントローラ

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IP66-IM100A

MKS Instruments

IP66規格対応マルチガス・マルチレンジ対応メタルシール・100slmマスフローコントローラ

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IM50A

MKS Instruments

IP66規格対応マルチガス・マルチレンジ対応メタルシール・マスフローコントローラ

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IE50A

MKS Instruments

IP66規格対応エストマーシールマスフローコントローラ

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GE250A/GE300A

MKS Instruments

汎用大流量マスフローコントローラ

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GM100A

MKS Instruments

マルチレンジ・マルチガス対応デジタルマスフローコントローラ

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GV50A

MKS Instruments

マルチガス・マルチレンジ対応シャットオフ・バルブ付きデジタルマスフローコントローラ

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GM50A/GM51A

MKS Instruments

マルチガス、マルチレンジ・メタルシール・マスフローコントローラ

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