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［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団

バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。

［NMR］核磁気共鳴分析

財団法人材料科学技術振興財団

磁場を与えられた状態の原子核に外部から電磁波を照射したときに、原子核がそれぞれの化学的環境に応じた特定の電磁波を吸収する現象（共鳴現象…

［OBIRCH］光ビーム加熱抵抗変動法

財団法人材料科学技術振興財団

光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です。

［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法

財団法人材料科学技術振興財団

分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や定性分析を行う手法です。

［ED］電子回折法

財団法人材料科学技術振興財団

電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。

［TEM ED-Map］TEM電子回折マッピング法

財団法人材料科学技術振興財団

TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

［EPMA］電子プローブマイクロアナライザー

財団法人材料科学技術振興財団

真空中で細く絞られた電子線を固体試料表面に照射し、発生する特性X線を分析することで、元素の同定や定量値に関する知見を得る手法です。

［HAXPES］硬X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

XPS（X線光電子分光）の励起光に硬X線を用いた分析手法で、ダメージレスな界面の結合状態評価を行うことができます。

［XRF］蛍光X線分析法

財団法人材料科学技術振興財団

照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。

［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法

財団法人材料科学技術振興財団

電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定する手法です。物質の構成元素や電子構造を分析することができます。