SONOSYS® メガソニック洗浄ノズルシステム 製品ページ公開のお知らせ｜半導体・MEMSの精密洗浄
2026/09/18 ティックコーポレーション 株式会社
このたび、ティックコーポレーション株式会社では、SONOSYS®（ソノシス）社製 メガソニック洗浄ノズルシステムの製品紹介ページを新たに公開いたしました。https://ticjapan.com/products/sonosys-megasonic/
このたび、ティックコーポレーション株式会社では、SONOSYS®（ソノシス）社製 メガソニック洗浄ノズルシステムの製品紹介ページを新たに公開いたしました。
SONOSYS®のメガソニック洗浄技術は、600kHz～9MHzクラスの高周波エネルギーを利用し、半導体ウェーハやフォトマスク、MEMSなどの微細構造へのダメージを抑えながら、微細なパーティクルを除去する精密洗浄技術です。
新しい製品ページでは、SONOSYS®独自のメガソニック技術をはじめ、シングル・ダブル・トリプルノズルの特長や、半導体・MEMS・光学部品などの用途について詳しくご紹介しています。
メガソニック洗浄とは？
メガソニック洗浄は、一般的な超音波洗浄よりも高い周波数を使用することで、微細構造への影響を抑えながら、ナノ・ミクロンレベルの微粒子除去を目的とする洗浄技術です。特に、半導体ウェーハ、EUVフォトマスク、MEMS、LCD・FPD基板、光学部品など、高い清浄度が求められる製造工程で利用されています。
半導体・精密部品の洗浄工程で、
・微細パーティクルを除去したい
・基板や微細パターンへのダメージを低減したい
・超純水（DI Water）を使用した精密洗浄を検討したい
・600kHz、1MHzをはじめとする高周波メガソニック洗浄を評価したい
といった課題をお持ちの方は、ぜひ新しい製品ページをご覧ください。
▶ SONOSYS® メガソニック洗浄ノズルシステム 製品ページ
https://ticjapan.com/products/sonosys-megasonic/
製品仕様、評価・テスト、用途に関するご相談についても、お気軽にお問い合わせください。
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取扱企業
ティックコーポレーション 株式会社
業種：商社・卸売り 所在地：東京都 台東区浅草橋 3-34-10
液体噴霧から水切り、乾燥、吹き飛ばしまで、あらゆる省エネ商品を提供！生産、現場改善商品も随時更新！
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