栃木県の製品一覧
ギガフォトン株式会社
さらなるテクノロジーの要求に応えるArF液浸露光光源
従来の150%の高出力を実現し、将来のさらなる出力要求に対応するKrF露光用光源
「栃木県」の関連企業一覧
小松製作所の子会社。2004年、インジェクションロック技術を採用した、ツインチャンバの量産型ArFエキシマレーザを世界に先がけて製品化し て以…
大型、薄型ガラス基板、フィルム、金属箔、ウェハー、多孔質材、紙といったバキュームチャックやメカチャックでは吸着が難しい、薄物部材及び真…
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