アメリカの製品一覧

Reliant Deposition

Lam Research

MEMS、パワーチップ、RFフィルタ、CMOSイメージセンサー等の新分野にも対応したプラズマCVD装置

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Centura DxZ CVD

Applied Materials,Inc

先進のMEMS、パワーデバイス、パッケージング市場での製造を支援する200mmウェーハ対応プラズマCVD装置

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Purion-XE

Axcelis Technology

高エネルギーイオン注入装置の業界標準

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Purion-H

Axcelis Technology

多用途性、スループット、均一性を提供し、所有コストを抑制できる高電流イオン注入装置

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Purion Mシリーズ

Axcelis Technology

高い生産性と高精度を両立させた中電流イオン注入装置

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Viista3000XP

Applied Materials,Inc

高エネルギーイオン注入措置

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ViiSTA900 3D

Applied Materials,Inc

2xnmノード以降の量産向け中電流イオン注入装置

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Viista900 XP

Applied Materials,Inc

高生産性中電流イオン注入装置

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ViiSTA HCP

Applied Materials,Inc

高生産性高電流イオン注入装置

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Viista Trident

Applied Materials,Inc

最先端プロセス向け高電流イオン注入装置

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