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PECVD装置NF-300H

Piotech

新世代の3次元フラッシュメモリチップ（3D NAND）に応用した国産初のプラズマCVD装置

PECVD装置PF-300T

Piotech

当社が独自に開発した100％知的財産権を有している300mm対応PECVD装置

ALD装置FT-300T

Piotech

当社が独自に開発した300mmウェーハ対応ALD装置