露光・描画装置の製品一覧

回路パターン、カラーフィルタ、発光体のパターンなどを基板などの対象物に転写、描画するための装置

1640A

MKS Instruments

ソニックノズルを利用した圧力ベースのマスフローコントローラ

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DW-6000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

優れた生産性と高解像度露光を両立した大型パネル用直接描画露光装置

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