新製品情報
新型アクティブ除振台 アクティブマルチプルベース
新しい設計思想のマルチプル（多脚）構造をはじめとした、革新的な技術を詰め込みました。 ・定盤・架台レスで導入時のストレスを解消 ・装置への後付けも楽々 ・世界最高レベルの除振性能はそのままに 。あらゆる装置への対応が可能になった究極のアクティブ除振台 となっております。 製品紹介動画をご覧ください。 https://www.youtube.com/watch?v=5m67NkZUvhI2023/01/26 倉敷化工 株式会社
新型アクティブ除振台 制振リニアアクティブ
半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が普及しているアクティブ除振台。 制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を追求しました。 お客様装置の最高性能を発揮させるサポートを致します。 製品紹介動画をご覧ください。 https://www.youtube.com/watch?v=p7_BW3ovcIw&t=1s2022/08/29 倉敷化工 株式会社
金属イオンの溶出が無い自動着脱装置（コネクタ）
自動着脱コネクタ（弁）の接液部を全てPTFEで構成した装置。 金属イオン溶出が一切ありません。 ウェハ洗浄液などの脱着・供給作業を自動化した実績がございます。 塩酸などの強酸への耐腐食性も高いです。 内弁をPTFE一体成形で製作（特許技術）しているため、コネクタ内部に滞留部がありません。また、廻り込み部分にも弊社特許技術を採用しており、洗浄性が非常に高いです。 お客様の設備状況に応じて配管やホースの脱着/切換作業の自動化装置を、オーダーメイドで設計・製作しております。 コネクタ単品でもご注文をお受け致します。 詳細は動画やカットモデルがございますので、お気軽にお問合せ下さい。2021/06/23 ナブテスコサービス 株式会社
