新製品情報

新型アクティブ除振台 制振リニアアクティブ

半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が普及しているアクティブ除振台。 制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を追求しました。 お客様装置の最高性能を発揮させるサポートを致します。 製品紹介動画をご覧ください。 https://www.youtube.com/watch?v=p7_BW3ovcIw&t=1s

2022/08/29 倉敷化工 株式会社


金属イオンの溶出が無い自動着脱装置(コネクタ)

自動着脱コネクタ(弁)の接液部を全てPTFEで構成した装置。 金属イオン溶出が一切ありません。 ウェハ洗浄液などの脱着・供給作業を自動化した実績がございます。 塩酸などの強酸への耐腐食性も高いです。 内弁をPTFE一体成形で製作(特許技術)しているため、コネクタ内部に滞留部がありません。また、廻り込み部分にも弊社特許技術を採用しており、洗浄性が非常に高いです。 お客様の設備状況に応じて配管やホースの脱着/切換作業の自動化装置を、オーダーメイドで設計・製作しております。 コネクタ単品でもご注文をお受け致します。 詳細は動画やカットモデルがございますので、お気軽にお問合せ下さい。

2021/06/23 ナブテスコサービス 株式会社


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