ウォニクの製品一覧
HYETA
WONIK
高生産性ALD装置
GEMINI ALD
高品質な酸化膜、窒化膜形成に対応したALD装置
NOA ALD
メタル形成用ALD装置
「ウォニク」の関連企業一覧
1991年にGAS CABINETの生産を始め、1996年に半導体前工程の核心装備である原子層堆積装置(ALD)の開発及び量産に成功し、2001年には 半導体前工程…
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