半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

SP2100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える

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VM-2500/3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

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LA-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最先端デバイスの特性改善に大きく貢献するフラッシュランプアニール装置

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DT-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム

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裏面洗浄装置「SB-3300」

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ

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スピンスクラバSS-3300S

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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ウェーハ外観検査装置INSPECTRAシリーズ

東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社

半導体製造の前工程から後工程まで『ハイスピード』『ハイスペック』でウェーハの全数自動検査の要求にお応えします。

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RR493L300

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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ACE-EFEM

ローツェ株式会社

高速搬送が可能なEFEM

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RR493L180

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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