半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品の製品一覧
半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール
ACS-4000
株式会社アルバック
コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。
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ULDiSシリーズ
株式会社アルバック
光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモードの技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高品位の光学膜を実現します。米国JDS…
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SXシリーズ
株式会社アルバック
バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…
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MLX-3000N
株式会社アルバック
マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半導体向け成膜…
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UTM300
株式会社アルバック
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…
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UTM-FH/FWシリーズ
株式会社アルバック
デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・…
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「半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品」の関連企業一覧
グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990…
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関連企業一覧
