半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品の製品一覧
半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール
CENTRIS SYM3エッチング装置
1x/10nmノード以降の大量生産用の重要なエッチングアプリケーションにおいて、世界トップクラスのウェーハ間の均一性を前例のないチップ内図形制…
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