【9/16開催セミナー】クライオエッチングの基礎・現状・課題と最新技術動向
2026/08/26 サイエンス＆テクノロジー(株) 株式会社
◇日時：2026年9月16日（水） 13:00～16:30◇受講料(税込)：49,500円 ※2名同時申込みで1名分無料等、各種割引特典有
◇受講可能な形式：【ライブ配信(見逃し配信付)】
◇概略：デバイスの微細化・高積層化の既存技術における限界が見え始めている中、注目を集める「クライオエッチング」を半日速習、基本原理から反応メカニズムや加工技術の最新研究動向までを解説するセミナーです。ぜひこの機会にご参加ください。
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◇講師
名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター 特任教授 蕭 世男 氏
◇講演趣旨抜粋
半導体集積回路デバイスの製造において、プラズマを用いた微細加工、すなわちプラズマエッチングは不可欠なプロセス技術である。トランジスタ、DRAM、NANDに代表されるデバイスでは、従来の微細化および高積層化（スケーリング）が進められてきた。しかし近年、既存技術には物理的・技術的な限界が顕在化しつつある。そこで、基板温度を極低温領域まで低下させ、ウェハ表面における反応種の物理吸着および表面拡散を制御するクライオエッチング（cryogenic etching）が注目されている。本講演では、プラズマエッチングの基本原理から、クライオエッチング導入の背景、反応メカニズムの解明、ならびに最新の研究動向について解説する。
◇講演プログラム抜粋
１．エッチング加工とは
1.1 等方性エッチング
1.2 異方性エッチング
２．ドライプロセスエッチング
2.1 低温プラズマの基礎原理と知識
2.2 プラズマエッチングと装置
2.3 プラズマエッチングメカニズム
2.4 高アスペクトエッチング
３．クラオイエッチング
3.1 クラオイエッチングとは
3.2 クラオイエッチングの基礎原理
3.3 クラオイエッチングの応用例
４．クラオイエッチングによる高アスペクト比加工
4.1 クライオシリコン深掘エッチング
4.2 クライオチャネルホール深掘エッチング
５．クラオイエッチングの反応メカニズムと加工技術の最新動向
5.1 クラオイエッチングにおける気相反応
5.2 クラオイエッチングにおける表面反応
5.3 クライオ原子層エッチング
取扱企業
サイエンス＆テクノロジー(株) 株式会社
業種：サービス業 所在地：東京都 港区浜松町1-2-12 浜松町F-1ビル7F
「情報を必要とする人」と「情報を持つ人」の結び目に
現在では、多くの情報を誰でも容易に得ることができるようになりました。しかし、依然として、“自分が本当に必要な正確な情報” は獲得できない状況にあることに変わりはありません。また、それを得るためには、業種・企業・産官学・社会的立場・人脈・年齢・物理的な距離の問題など、乗り越えなければならない多くの壁があることも事実です。
一方、社会へ貢献できる貴重な情報を持ちながらも、必要な人々へ伝達・発信することができないという壁も存在しています。当社は、皆様に代わって「壁」を超え、必要とする人と情報を与える人を結びつける役割を担います。
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【9/29開催セミナー】半導体市場の動向と半導体産業の今後の見通し
◇日時： 2026年9月29日（火） 13:00～16:30 ◇受講料(税込)：49,500円 ※2名同時申込みで1名分無料等、各種割引特典有 ◇受講可能な形式：【ライブ配信(見逃し配信付)】 ◇概略：グロスバーグ合同会社 代表 大山 聡 氏が3時間で半導体産業の動向を把握するセミナーです。ぜひこの機会にご参加ください。 ≫[詳細・申込み](https://www.science-t.com/seminar/A260989.html?utm_source=SEMI-NET&utm_medium=referral&utm_campaign=A260989)2026/09/03 サイエンス＆テクノロジー(株) 株式会社
【9/29開催セミナー】AIデータセンター向け超高速光トランシーバの最新動向
◇日時：2026年9月29日（火） 14:00～16:00 ◇受講料(税込)：41,800円 ※2名同時申込みで1名分無料等、各種割引特典有 ◇受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】 ◇概略：高速化・低消費電力化・定遅延化に向けた光トランシーバの現状と今後の技術トレンド、NPO/CPOの開発動向とAIクラスタにおけるネットワークへの導入の見通しなど℃を解説するセミナーです。ぜひこの機会にご参加ください。 ≫[詳細・申込み](https://www.science-t.com/seminar/A260929.html?utm_source=SEMI-NET&utm_medium=referral&utm_campaign=A260929)2026/09/02 サイエンス＆テクノロジー(株) 株式会社
【9/25開催セミナー】半導体量子ビットの基礎と研究動向および技術課題と展望
◇日時：2026年9月25日（金） 13:00～16:30 ◇受講料(税込)：49,500円 ※2名同時申込みで1名分無料等、各種割引特典有 ◇受講可能な形式：【ライブ配信(見逃し配信付)】 ◇概略：半導体量子ビットの原理から、高忠実度化・高集積化に向けた最新の研究開発動向、材料・制御・回路等の周辺技術、大規模化等の技術課題、連携開発、展望までを解説するセミナーです。ぜひこの機会にご参加ください。 ≫[詳細・申込み](https://www.science-t.com/seminar/A260955.html?utm_source=SEMI-NET&utm_medium=referral&utm_campaign=A260955)2026/08/31 サイエンス＆テクノロジー(株) 株式会社
