【9/16開催セミナー】クライオエッチングの基礎・現状・課題と最新技術動向
2026/08/26 サイエンス＆テクノロジー(株) 株式会社
◇日時：2026年9月16日（水） 13:00～16:30◇受講料(税込)：49,500円 ※2名同時申込みで1名分無料等、各種割引特典有
◇受講可能な形式：【ライブ配信(見逃し配信付)】
◇概略：デバイスの微細化・高積層化の既存技術における限界が見え始めている中、注目を集める「クライオエッチング」を半日速習、基本原理から反応メカニズムや加工技術の最新研究動向までを解説するセミナーです。ぜひこの機会にご参加ください。
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◇講師
名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター 特任教授 蕭 世男 氏
◇講演趣旨抜粋
半導体集積回路デバイスの製造において、プラズマを用いた微細加工、すなわちプラズマエッチングは不可欠なプロセス技術である。トランジスタ、DRAM、NANDに代表されるデバイスでは、従来の微細化および高積層化（スケーリング）が進められてきた。しかし近年、既存技術には物理的・技術的な限界が顕在化しつつある。そこで、基板温度を極低温領域まで低下させ、ウェハ表面における反応種の物理吸着および表面拡散を制御するクライオエッチング（cryogenic etching）が注目されている。本講演では、プラズマエッチングの基本原理から、クライオエッチング導入の背景、反応メカニズムの解明、ならびに最新の研究動向について解説する。
◇講演プログラム抜粋
１．エッチング加工とは
1.1 等方性エッチング
1.2 異方性エッチング
２．ドライプロセスエッチング
2.1 低温プラズマの基礎原理と知識
2.2 プラズマエッチングと装置
2.3 プラズマエッチングメカニズム
2.4 高アスペクトエッチング
３．クラオイエッチング
3.1 クラオイエッチングとは
3.2 クラオイエッチングの基礎原理
3.3 クラオイエッチングの応用例
４．クラオイエッチングによる高アスペクト比加工
4.1 クライオシリコン深掘エッチング
4.2 クライオチャネルホール深掘エッチング
５．クラオイエッチングの反応メカニズムと加工技術の最新動向
5.1 クラオイエッチングにおける気相反応
5.2 クラオイエッチングにおける表面反応
5.3 クライオ原子層エッチング
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【9/16開催セミナー】クライオエッチングの基礎・現状・課題と最新技術動向
◇日時：2026年9月16日（水） 13:00～16:30 ◇受講料(税込)：49,500円 ※2名同時申込みで1名分無料等、各種割引特典有 ◇受講可能な形式：【ライブ配信(見逃し配信付)】 ◇概略：デバイスの微細化・高積層化の既存技術における限界が見え始めている中、注目を集める「クライオエッチング」を半日速習、基本原理から反応メカニズムや加工技術の最新研究動向までを解説するセミナーです。ぜひこの機会にご参加ください。 ≫[詳細・申込み](https://www.science-t.com/seminar/A260916.html?utm_source=SEMI-NET&utm_medium=referral&utm_campaign=A260916)2026/08/26 サイエンス＆テクノロジー(株) 株式会社
【9/9開催セミナー】＜ECTC2026での発表を解説＞先端半導体パッケージング・実装技術の研究開発動向
◇日時：2026年9月9日（水） 13:00～17:00 ◇受講料(税込)：49,500円 ※各種割引特典有 ◇受講可能な形式：【ライブ配信(見逃し配信付】 ◇概略：半導体パッケージング技術最大の国際会議ECTC、特に今回はECTC2026で発表された研究内容を多く取り上げ、関連する技術の背景や他の技術との比較も含めて、その特長や技術の進展について初心者でも分かりやすく説明します。 [詳細・申込み](https://www.science-t.com/seminar/B260979.html?utm_source=SEMI-NET&utm_medium=referral&utm_campaign=B260979)2026/08/25 サイエンス＆テクノロジー(株) 株式会社
