半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

EBT型

株式会社荏原製作所

玉軸受タイプターボ分子ポンプ

EMT型

株式会社荏原製作所

磁気軸受タイプのターボ分子ポンプ

半導体製造向け精密チラー RJ-SA型

株式会社荏原製作所

小型かつ高出力で、サブファブスペースを効率的に利用可能なチラー

湿式排ガス処理装置 G-WS型

株式会社荏原製作所

水溶性ガスを使用するプロセスに最適化された湿式排ガス処理装置

CMP装置F-REX300XA

株式会社荏原製作所

荏原史上最高の生産性を実現した新型CMP装置