カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
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- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
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- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
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- ドライポンプ
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- マスクブランクス
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- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
EMT型
磁気軸受タイプのターボ分子ポンプ
・磁気浮上仕様
・340～3,300 Ｌ/sまでの幅広い製品ラインナップ
・コントローラ一体型（EMT2200MK型、EMT3300MK型）
・空冷型と水冷型を選択可能（EMT2200MK型、EMT3300MK型を除く）
・高温仕様、耐食仕様を選択可能（オプション）
・様々な特殊仕様をラインナップ（反応生成物対応、極低振動型）
・取付姿勢自由
・ネットワーク接続対応
・CEマーキング、SEMI S2、NRTLに適合
基本情報
①EMT390M
排気速度 N2 340L/s
N2（保護金網付き） 320L/s
H2 290L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa、＜1×10-7Pa
許容排気口圧力（Pa）400
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷） 2000sccm
Ar
最大圧縮比 N2 1×108
H2 4.5×103
吸気口フランジ ISO-B100／CF100
排気口フランジ KF25
軸受方式 磁気軸受
冷却方式 空冷／水冷
推奨補助ポンプ ≧160L/min
質量（kg） 14/17
耐食使用 選択可能
②EMT420M
排気速度 N2 400L/s
N2（保護金網付き） 370L/s
H2 300L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa、＜1×10-7Pa
許容排気口圧力（Pa）400
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 2000sccm
Ar
最大圧縮比 N2 1×108
H2 4.5×103
吸気口フランジ ISO-B100／CF100
排気口フランジ KF25
軸受方式 磁気軸受
冷却方式 空冷／水冷
推奨補助ポンプ ≧160L/min
質量（kg） 14/17
耐食使用 選択可能
③EMT900M
排気速度 N2 900L/s
N2（保護金網付き） 860L/s
H2 1050L/s
到達圧力 ＜10×10-6Pa/＜10×10-7Pa
許容排気口圧力（Pa）500
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 3000sccm
Ar
最大圧縮比 N2 1×108
H2 1.5×104
吸気口フランジ ISO-B160/CF-160
排気口フランジ KF40
軸受方式 磁気軸受
冷却方式 空冷／水冷
推奨補助ポンプ ≧250L/min
質量（kg） 34/42
耐食使用 選択可能
型式 ④EMT1300M
排気速度 N2 1300L/s
N2（保護金網付き） 1230L/s
H2 1200L/s
到達圧力 ＜1.0×10-6Pa/＜1.0×10-7Pa
許容排気口圧力（Pa）500
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 3000sccm
Ar
最大圧縮比 N2 1×108
H2 1.5×104
吸気口フランジ ISO-B200/CF-200
排気口フランジ KF40
軸受方式 磁気軸受
冷却方式 空冷／水冷
推奨補助ポンプ ≧250L/min
質量（kg） 34/42
耐食使用 選択可能
⑤EMT2200MK
排気速度 N2 2200L/s
N2（保護金網付き） 2100L/s
H2 1800L/s
到達圧力 ＜2.0×10-7Pa
許容排気口圧力（Pa）500
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 3000sccm
Ar 2600sccm
最大圧縮比 N2 >20×108
H2 3×103
吸気口フランジ ISO-B250
排気口フランジ KF40/KF50
軸受方式 磁気軸受
冷却方式 水冷
推奨補助ポンプ ≧2000L/min
質量（kg） 62
耐食使用 選択可能
⑥EMT2400M
排気速度 N2 2400L/s
N2（保護金網付き） 2300L/s
H2 1100L/s
到達圧力 ＜1.0×10-6Pa
許容排気口圧力（Pa）200/150
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 3000sccm
Ar
最大圧縮比 N2 1×108
H2 1.4×103
吸気口フランジ ISO-B250
排気口フランジ KF40
軸受方式 磁気軸受
冷却方式 強制空冷／水冷
推奨補助ポンプ ≧500L/min
質量（kg） 45/54
耐食使用 選択可能
⑦EMT3300MK
排気速度 N2 3300L/s
N2（保護金網付き） 3100L/s
H2 2700L/s
到達圧力 ＜2.0×10-7Pa
許容排気口圧力（Pa）170
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 2400sccm
Ar 2000sccm
最大圧縮比 N2 1×108
H2 3×103
吸気口フランジ ISO-B320
排気口フランジ KF40/KF50
軸受方式 磁気軸受
冷却方式 水冷
推奨補助ポンプ ≧2000L/min
質量（kg） 69
耐食使用 選択可能
取扱企業
株式会社荏原製作所
業種：繊維 所在地：東京都 大田区羽田旭町 11-1
創業以来100年以上培ってきた世界トップクラスの流体技術
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあらゆる技術が 製品ライフサイクル全体と適したサービスを可能にする荏原のコア技術です。
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