カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
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- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
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- インクジェットヘッド（ノズル）
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- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
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- ドライポンプ
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- 赤外線検出器
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- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
EBT型
玉軸受タイプターボ分子ポンプ
・グリス潤滑玉軸受タイプ
・70～2,400 Ｌ/sまでの幅広い製品ラインナップ
・小形・軽量・低コスト
・コントローラ一体型も選択可能 （EBT70型、EBT240型のみ対応）
・高い耐衝撃性
・空冷型と水冷型を選択可能（EBT70F型、EBT240F型は空冷のみ）
・取付姿勢自由
・ネットワーク接続対応
・CEマーキング、SEMI S2、NRTLに適合
基本情報
①EBT70F（コントローラ一体型）
排気速度 N2 70L/s、75L/s
N2（保護金網付き） 65L/s、70L/s
H2 40L/s、45L/s
到達圧力 ＜5×10-7Pa、＜1×10-7Pa
許容排気口圧力（Pa） 1200
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 20sccm/10sccm
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 1×10^5
吸気口フランジ Iso-R63
排気口フランジ KF16
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷／自然空冷
推奨補助ポンプ ≧25L/min
質量（kg） 3.0/2.6
入力電圧 DC24V
最大所要電力 120W
②EBT70F-20
排気速度 N2 70L/s、75L/s
N2（保護金網付き） 65L/s、70L/s
H2 40L/s、45L/s
到達圧力 ＜5×10-7Pa、＜1×10-7Pa
許容排気口圧力（Pa） 1200
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 20sccm/10sccm
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 1×10^5
吸気口フランジ CF63
排気口フランジ KF16
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷／自然空冷
推奨補助ポンプ ≧25L/min
質量（kg） 4.6/5.5
入力電圧
最大所要電力
③EBT220F
排気速度 N2 220L/s
N2（保護金網付き） 210L/s
H2 100L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa
許容排気口圧力（Pa） 260
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 400sccm
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 4×10^2
吸気口フランジ ISO-R100
排気口フランジ KF25
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷／自然空冷
推奨補助ポンプ ≧80L/min
質量（kg） 5.5
入力電圧
最大所要電力
④EBT240F（コントローラ一体型）
排気速度 N2 240L/s
N2（保護金網付き） 230L/s
H2 160L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa/＜5×10-7Pa
許容排気口圧力（Pa） 700
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 70sccm
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 4×10^4
吸気口フランジ ISO-R100/CF-100
排気口フランジ KF25
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷
推奨補助ポンプ ≧80L/min
質量（kg） 10.5/7.3
入力電圧 DC24V
最大所要電力 75W
⑤EBT240F
排気速度 N2 240L/s
N2（保護金網付き） 230L/s
H2 160L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa/＜5×10-7Pa
許容排気口圧力（Pa） 700
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 70sccm
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 4×10^4
吸気口フランジ ISO-R100/CF-100
排気口フランジ KF25
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷
推奨補助ポンプ ≧80L/min
質量（kg） 10.1/6.9
入力電圧
最大所要電力
⑥EBT350F
排気速度 N2 330L/s
N2（保護金網付き） 310L/s
H2 210L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa
許容排気口圧力（Pa） 260
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 500sccm
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 2×10^3
吸気口フランジ ISO-R100/CF-100
排気口フランジ KF25
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷／自然空冷
推奨補助ポンプ ≧80L/min
質量（kg） 6.0/9.0
入力電圧
最大所要電力
⑦EBT450F
排気速度 N2 450L/s
N2（保護金網付き） 430L/s
H2 240L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa
許容排気口圧力（Pa） 260
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 500sccm
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 2×10^3
吸気口フランジ ISO-B160/CF-100
排気口フランジ KF25
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷／自然空冷
推奨補助ポンプ ≧80L/min
質量（kg） 7.0/10.0
入力電圧
最大所要電力
⑧EBT800F
排気速度 N2 820L/s
N2（保護金網付き） 750L/s
H2 650L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa
許容排気口圧力（Pa） 330
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 330sccm
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 1×10^4
吸気口フランジ ISO-B160/CF-100
排気口フランジ KF25
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷／水冷
推奨補助ポンプ ≧250L/min
質量（kg） 27.0/26.0
入力電圧
最大所要電力
⑨EBT1100F
排気速度 N2 1100L/s
N2（保護金網付き） 1000L/s
H2 720L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa
許容排気口圧力（Pa） 330
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 330sccm (大容量コントローラ使用時は 860sccm)
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 1×10^4
吸気口フランジ ISO-B200/CF-200
排気口フランジ KF40
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷／水冷
推奨補助ポンプ ≧250L/min
質量（kg） 28.0/27.0
入力電圧
最大所要電力
⑩EBT1400F
排気速度 N2 1400L/s
N2（保護金網付き） 1300L/s
H2 750L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa
許容排気口圧力（Pa）
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 450sccm
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 4.3×10^3
吸気口フランジ ISO-B200/CF-200
排気口フランジ KF40
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷／水冷
推奨補助ポンプ ≧250L/min
質量（kg） 29.0/30.0
入力電圧
最大所要電力
⑪EBT2400F
排気速度 N2 2400L/s
N2（保護金網付き） 2300L/s
H2 1100L/s
到達圧力 ＜1×10-6Pa
許容排気口圧力（Pa）
最大ガス流量 N2(強制空冷/自然空冷 900sccm
最大圧縮比 N2 1×10^8
H2 1.4×10^3
吸気口フランジ ISO-B250
排気口フランジ KF40
軸受方式 グリス潤滑玉軸受
冷却方式 強制空冷／水冷
推奨補助ポンプ ≧500L/min
質量（kg） 45.0/47.0
入力電圧
最大所要電力
取扱企業
株式会社荏原製作所
業種：繊維 所在地：東京都 大田区羽田旭町 11-1
創業以来100年以上培ってきた世界トップクラスの流体技術
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあらゆる技術が 製品ライフサイクル全体と適したサービスを可能にする荏原のコア技術です。
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