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CMP装置F-REX300XA

荏原史上最高の生産性を実現した新型CMP装置

①荏原史上最高の生産性
新開発の高効率搬送機構とWPH最適化アルゴリズムを搭載し、さらなる生産性の向上が可能。

②高信頼性、フレキシブル、歩留まり向上
1 テーブル 1 ヘッド、デュアルモジュール方式による、当社の高い信頼性のある構造は維持しつつ、フレキシブル搬送、加工のばらつきを低減する研磨構造、さらなるクロスコンタミ対策を搭載。歩留まり向上に貢献。

③低環境負荷
現行機種F-REX300X型比で10%消費電力削減。設計を見直し、部品点数を削減。サプライチェーンでのCO2排出量も削減。

基本情報

トップリング数  4(300mmウェーハ対応)
ターンテーブル数 4
洗浄ユニット数 6

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取扱企業

株式会社荏原製作所

業種:繊維  所在地:東京都 大田区羽田旭町 11-1

創業以来100年以上培ってきた世界トップクラスの流体技術

産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあらゆる技術が 製品ライフサイクル全体と適したサービスを可能にする荏原のコア技術です。

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