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9インチマスク(ペリクル付き)

東洋精密工業株式会社

φ8インチウェハ用フォトマスク

搬送キャリア

東洋精密工業株式会社

チップ搬送用のトレイ

レチクル

東洋精密工業株式会社

ステッパー露光装置用レチクルです。(9インチまで可！)

フォトマスク

東洋精密工業株式会社

パターン形成のためのフォトリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクです。

ウェハ直描加工

東洋精密工業株式会社

フォトマスクを使用せずにウェハ上にダイレクト露光いたします。

コピーマスク

東洋精密工業株式会社

同じフォトマスクを複数作りたい。

フォトマスクからのデータ生成

東洋精密工業株式会社

フォトマスクからデータを生成いたします。