カテゴリー

レチクル

東洋精密工業株式会社
最終更新日: 2022年03月29日

ステッパー露光装置用レチクルです。(9インチまで可!)

ステッパー装置各社(ニコン、キヤノン、ウルトラテック)向けとして使用されるレチクルを作製いたします。ペリクルを装着する場合はペリクル空間検査まで行います。
最小パターン1.0㎛±0.1㎛~対応いたします。その他、必要精度に合わせた作製もいたします。
当社のレチクルは半導体や電子部品製造メーカー等多くの納入実績があり、近年増加傾向の9インチサイズまでペリクル装着いたします。

基本情報

ガラス材料:石英ガラス
最小線幅:1.0㎛~  *9インチは2.0㎛以上~
線幅精度:±0.1㎛~  *9インチは±2.0㎛~
長ピッチ精度:±0.3㎛~  *9インチは±0.75㎛~
*描画モードを変更することでご要望の仕様とコストに応じた最適なフォトマスクをご提供いたします。

ペリクル
各社ステッパー別に対応いたします。(最大9インチマスクへの装着も可能!)
ペリクル内の空間検査を行います。(レーザー散乱方式)

お問い合わせ

取扱企業

東洋精密工業株式会社

業種:電子部品・半導体  所在地:奈良県 橿原市新堂町 376-1

フォトリソグラフィで未来を創造する

先端技術分野に欠かすことのできないフォトリソグラフィ。
当社は創業以来、常にフォトリソグラフィと共に歩んできました。
現在では、長年に渡り磨き上げたフォトリソグラフィ技術を軸に、様々な分野で当社の精密加工製品をお使いいただいております。
私たちはこれからもフォトリソグラフィの可能性に挑戦し続け、まだ見ぬ未来を支えるための小さな部品を一つ一つ創りあげて参ります。

半導体製品を生産するために欠かせないフォトマスクを作製いたします。
試作用単品フォトマスクから量産用フォトマスクまで。サイズは2.5インチ角から9インチ角の小型マスク、10インチ以上の大型マスク、その他ご指定のサイズに対応いたします。

①CADデータ作成からフォトマスク作製、②パッド間配線のCAD、③データ作成、④お手持ちのフォトマスクからデータ生成、⑤ウェハ直描、⑥その他、ご要望によりキャリブレーション等の特殊製品の作製をいたします。

レチクル へのお問い合わせ

お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。


ご依頼目的 必須

ご要望 必須

お問い合わせ ご意見等


※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス)が通知されます。

レチクル