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コピーマスク

東洋精密工業株式会社
最終更新日: 2021年04月20日

同じフォトマスクを複数作りたい。

原版マスクからコピーマスクを作製いたします。1枚ずつ描画装置を通さないことでコストを抑えてフォトマスクを作製いたします。
特に量産のために同じフォトマスクを複数枚ご使用されるお客様にはコスト的に有効な作製方法です。

基本情報

サイズ:4インチ~7インチ
パターン精度:±0.5㎛~
*コピーマスクでは原版マスクを作製していただく必要があります。
*原版マスクは通常のフォトマスクプロセスで作製されたものです。

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取扱企業

東洋精密工業株式会社

業種:電子部品・半導体  所在地:奈良県 橿原市新堂町 376-1

フォトリソグラフィで未来を創造する

先端技術分野に欠かすことのできないフォトリソグラフィ。
当社は創業以来、常にフォトリソグラフィと共に歩んできました。
現在では、長年に渡り磨き上げたフォトリソグラフィ技術を軸に、様々な分野で当社の精密加工製品をお使いいただいております。
私たちはこれからもフォトリソグラフィの可能性に挑戦し続け、まだ見ぬ未来を支えるための小さな部品を一つ一つ創りあげて参ります。

半導体製品を生産するために欠かせないフォトマスクを作製いたします。
試作用単品フォトマスクから量産用フォトマスクまで。サイズは2.5インチ角から9インチ角の小型マスク、10インチ以上の大型マスク、その他ご指定のサイズに対応いたします。

①CADデータ作成からフォトマスク作製、②パッド間配線のCAD、③データ作成、④お手持ちのフォトマスクからデータ生成、⑤ウェハ直描、⑥その他、ご要望によりキャリブレーション等の特殊製品の作製をいたします。

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