シリサイド化の製品一覧
Ni 超薄膜へのSiH4 照射によるシリサイド化反応制御
グローバルネット株式会社
注目
名大、谷田 駿
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ENDURAR AVENIR RF PVD
Endura AvenirシステムのRF PVD技術は、High-k／メタルゲートアプリケーションと同様、22nm世代以降のロジックコンタクトのシリサイド化にも適応…
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