レーザアニール装置の製品一覧

SWA90GDシリーズ

住友重機械工業株式会社

次世代パワーデバイス用レーザアニール装置

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LT3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。

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