半導体用語集
レーザアニール装置
英語表記：laser annealer
レーザ光を照射しウェーハの表面、又はウェーハ上に形成した薄膜を局部的に短時間で熱処理する装置。レーザ光照射の手段により、パルスレーザアニール装置、CWレーザアニール装置に分けられる。
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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 成膜装置 › RTP装置
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