高密度プラズマエッチングの製品一覧
ULHITETM NE-7800H
株式会社アルバック
FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料（強誘電体、貴金属、磁性膜等）のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…
NE-550EX
研究開発向け高密度プラズマエッチング装置
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