ウェーハ製造装置の製品一覧
SPM23
不二越機械工業株式会社
大口径、量産化対応200mmウェーハ対応片面ポリシングマシン
USP-32BP
300mmウェーハ対応両面ポリッシング装置
EMP-300
高品質、量産型枚葉式自動片面ポリシングマシン
KABRA! Zen
株式会社ディスコ
SiCインゴットスライスを高速化、ウェーハ取り枚数を倍増
自動結晶引上装置TDR135A-ZJS
Jingsheng(JSG)
300mmウェーハ対応の単結晶引き上げ装置
関連用語
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Eugene Technology
韓国の成膜装置メーカ。LPCVD、プラズマCVD装置、ALD装置などの製造、販売を行っている。韓国の半導体メーカの国産装置積極導入の動きを受け、業…
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