半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4

PHT株式会社

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。

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大口径ノンスピルカップリング『TCH』

ストーブリ株式会社

残圧下6barまで接続が可能!着脱時の液だれほぼ無しを実現!ハンドルを回して簡単着脱の大口径カップリング!(25A~50A)

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水冷回路 自動調芯ブラインドメイト仕様 ノンスピルカップリング『CGD』

ストーブリ株式会社

チャンバーLIDやテストハンドラの水冷に適した、最大±1mmの芯ずれを補正するブラインドメイト仕様(ロック機構なし)のコネクタです。 コネクタ…

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ステンレス製ノンスピルカップリング『DAG』

ストーブリ株式会社

ノンスピル構造、押し込むだけで片手で接続できるオートマチック・ボールロックを備えた、コンパクトな水冷用途専用のクイックカップリングです…

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ステンレス製ノンスピルカップリング『MCB』

ストーブリ株式会社

ノンスピル構造、オートマチック・ボールロックを備えた高性能カップリングです。 豊富なオプション設定がございます。 耐極低温(-100℃ま…

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NTH20

川崎重工業株式会社

5軸水平多関節ロボット

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TTJ-10

川崎重工業株式会社

(テレスコピック機構採用)4軸構造水平多関節シングルアーム・ウェーハハンドリングロボット

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NTJ-10

川崎重工業株式会社

4軸構造水平多関節シングルアームロボット

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SEMISTAR-GEKKO VD31HQF

株式会社安川電機

4軸水平多関節ダブルアームロボット

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SEMISTAR-GEKKO VD31HDA

株式会社安川電機

4軸水平多関節シングルアームロボッ

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