半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

DFL7341

株式会社ディスコ

8インチウェーハ対応全自動レーザーソー

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SWA90GDシリーズ

住友重機械工業株式会社

次世代パワーデバイス用レーザアニール装置

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Freedomシリーズ

平田機工株式会社

実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応EFEM/ソータ

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FOUPロードポートTAS300

TDK株式会社

徹底したクリーン化性能、信頼性設計を実現したロードポー

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SELOP-8

シンフォニアテクノロジー株式会社

1xnmプロセス対応のN2パージ機構搭載ロードポート

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「ACE」シリーズ

ローツェ株式会社

EFEM/ソーター

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パージSTK

村田機械株式会社

N2パージストッカ

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CDWX

村田機械株式会社

ベアウェーハを清浄度を保ちながら保管するストッカ

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SRCシリーズ

村田機械株式会社

高速、高信頼性OHT

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