半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

LA-3000-F

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ウルトラシャロージャンクション形成を可能に

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DW-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置

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Purion XE

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高エネルギーイオン注入装置(Axcelis Technologies社製)

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Purion H

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高電流イオン注入装置(Axelis Technlologies社製品)

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Purion M

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

中電流イオン注入装置(Axcelis Technolgies社製品)

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RE-3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

loT向け電子デバイスに対応したエリプソ式膜厚測定装置

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VM-1200/1300

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

製造ラインへの導入も可能な卓上型光干渉式膜厚測定装置

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VM-1020

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

R&Dに最適な顕微鏡モデル光干渉式膜厚測定装置

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ZI-3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

loT向け電子デバイスに対応したパターン付きウェーハ外観検査装置

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ZI-2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイスピード、ハイコストパフォーマンスを追求。パターン付きウェーハ外観検査装置

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