東洋精密工業(株)は［九州］半導体産業展に出展いたします！

2024/08/21 東洋精密工業株式会社

今、半導体で熱い九州に初上陸の半導体産業展に出展いたします！
半導体産業に特化した専門展で全261社が揃います。是非、足をお運びください。

会期：2024年9月25日(水)・26日(木)10:00～17:00
会場：マリンメッセ福岡 B館　【ブーズNo.：2-25】
場所：〒812-0031 福岡県福岡市博多区沖浜町2-1
URL：https://k-semi.jp/

東洋精密工業(株)はフォトマスク、及び金属エッチング製品に関して展示いたします。
主な内容は、
・高精度フォトマスクとレチクルマスク
　「φ8インチウェハ用9インチマスク」及び、「6インチレチクル」を提供するほか、
　従来からのφ4～φ6インチウェハ向けフォトマスクにも対応し、半導体デバイス製造に
　貢献します。
　更に、今年度導入した「マスクレス露光機」を活用し、「12インチウエハまでの直描
　対応」を実現！
　過去に実現できなかった「厚膜レジストへのパターン形成」が可能となりました。

・検査用の位置決めトレイ
　印刷および実装時の位置精度を改善させるクランプ（バネ式）トレイ。
　ポケットに内蔵されたバネによってワークを精度よく位置決めすることができます。
　用途は製品（センサー、基板等）の検査、部品実装、蒸着・スパッタ（成膜）など多数

・搬送キャリア
　ワークを搬送する際に用いられるキャリアです。
　エッチングで作成した部材を熱圧着（拡散接合）で貼り合わせ、ポケット入り口部に
　切削加工でワーク誘い込みのテーパーを付け電解研磨で表面を平滑に仕上げています。
　切削加工のみの作成に比べコスト的に有利で熱環境下でも反りにくいのが特徴です。

・ステンレス製ラッピングキャリア
　ウェハをラップ研磨する際に用いられる治具です。
　弊社では主にSUS304を使用して生産いたします。

・ヒートシンク
　当社ではハーフエッチング加工により、ケース側には冷媒封入用の中空構造、フタ側に
　は放熱効果を高める為のフィンを作製することができます。ハーフエッチングとは貫通
　させず、材料の途中までを掘り込むエッチング加工技術で、広い面を一括で加工できる
　ことからコスト面でメリットがある上、加工によるバリの発生も無い為、ケースとフタ　　
　の接合面の平坦性確保にも有利です。

東洋精密工業株式会社

業種：電子部品・半導体所在地：奈良県橿原市新堂町 376-1

フォトリソグラフィで未来を創造する

先端技術分野に欠かすことのできないフォトリソグラフィ。
当社は創業以来、常にフォトリソグラフィと共に歩んできました。
現在では、長年に渡り磨き上げたフォトリソグラフィ技術を軸に、様々な分野で当社の精密加工製品をお使いいただいております。
私たちはこれからもフォトリソグラフィの可能性に挑戦し続け、まだ見ぬ未来を支えるための小さな部品を一つ一つ創りあげて参ります。

半導体製品を生産するために欠かせないフォトマスクを作製いたします。
試作用単品フォトマスクから量産用フォトマスクまで。サイズは2.5インチ角から9インチ角の小型マスク、10インチ以上の大型マスク、その他ご指定のサイズに対応いたします。

①CADデータ作成からフォトマスク作製、②パッド間配線のCAD、③データ作成、④お手持ちのフォトマスクからデータ生成、⑤ウェハ直描、⑥その他、ご要望によりキャリブレーション等の特殊製品の作製をいたします。

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