オランダの製品一覧

HMI eP5

ASML Holding Ltd,.

電子ビーム式欠陥検査装置のハイエンドモデル

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Synergis ALD

ASM International NV

8つの枚葉式チャンバ搭載可能な高生産性装置

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Pulsar XP

ASM International NV

HKMGスタック形成対応ALD装置

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EmerALD XP

ASM International NV

HKMG量産に対応したALD装置

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Dragon XP8

ASM International NV

8チャンバまで搭載可能な量産対応300mmウェーハプラズマCVD

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TWINSCAN EXE-5000

ASML Holding Ltd,.

次世代EUVリソグラフフィシステム

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TWINSCAN NXE:3600D

ASML Holding Ltd,.

同社の最先端量産用EUVリソグラフィシステム

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A412 PLUS/A400

ASM International NV

A412:300mmウェーハ対応高性能縦型拡散/CVD装置 A400:200mm以下ウェーハ対応高性能縦型拡散/CVD装置

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TWINSCAN NXE:3400C

ASML Holding Ltd,.

量産用EUV露光装置

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