株式会社アルバックの製品一覧
NLD-570
株式会社アルバック
研究開発向けNLDドライエッチング装置
NE-5700/NE-7800
量産用ドライエッチング装置
APIOS NE-950EX
LED向け量産専用ドライエッチング装置
NE-550EX
研究開発向け高密度プラズマエッチング装置
CE-L
小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。
Luminous NAシリーズ
Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーの…
CC-200/400
ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。
CME-200/400
枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。
CMDシリーズ
CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。
CS-L
実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な…
「株式会社アルバック」の関連企業一覧
株式会社 アルバック
アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提…
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