クリーンロボットの製品一覧
SHR3158
株式会社ジェーイーエル
3軸円筒座標型クリーンロボット
SCR3200CS
SCR3160CSN
SCR3160CS
SCR3130CS
SCR3100S
小径ウェーハ用3軸円筒座標型クリーンロボット
SCR3100CS
MTCR4200
4軸円筒座標型クリーンロボット
MTCR4160L
5枚一括可変チャック搭載仕様・4軸円筒座標型クリーンロボット
MTCR4160
テープフレーム搬送4軸円筒座標型クリーンロボット
関連用語
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