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SCR3100S

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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小径ウェーハ用3軸円筒座標型クリーンロボット

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズです。真空ラインには0.1 μmメッシュフィルタを装備しています。省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
全軸2相ステッピングモータ使用、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送できるようになっています。ウェーハ保持は真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャックに対応しています。チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能となっています。

基本情報

ロボット型式 SCR3100S-200-PM
リストブロック SARS00169
チャック 3D-02535
被搬送物 ～150 mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 3軸
モータタイプ ステッピングモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：397.7 mm
旋回角度(θ軸)：340度
上下ストローク(Z軸)：200 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸)：330 mm/sec
旋回角度(θ軸)：280 度
上下ストローク(Z軸)：130 mm/sec
搬送速度(最高)アーム(R軸)：500 mm/sec
旋回角度(θ軸)：480度/sec
上下ストローク(Z軸)：170 mm/sec
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10%
真空：-53 kPa以上
質量 ロボット本体 約20 kg

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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