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SHR3158

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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3軸円筒座標型クリーンロボット

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボット。シングルアームタイプで、アームバリエーションは100mm, 130mm, 158mm, 17 mm, 203mm。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能となっています。
　全軸2相ステッピングモータ使用で、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送が可能になっています。ウェーハ保持方法は真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック。チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応が可能となっています。

基本情報

リストブロック SARS00958
チャック SC3-IW-240
被搬送物 ～300 mmウェーハ
ウェーハ保持方 チャックによる真空吸着
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 3軸
モータタイプ ステッピングモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：518.7 mm
旋回角度(θ軸)：340度
上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度 アーム(R軸)：470 mm/sec
旋回角度(θ軸)：270度/sec
上下ストローク(Z軸)：130 mm/sec
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 0.1 μmクラス1
ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 8A
真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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