チャネリングの製品一覧
4H-SiC への<0001>方向チャネリングイオン注入:Si 面とC 面は同じか？
グローバルネット株式会社
名工大、加藤 正史
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Mg チャネリングイオン注入および超高圧アニールを用いて作製した縦型GaN JBS ダイオード
グローバルネット株式会社
名大、北川 和輝
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