自然酸化膜の製品一覧

4H-SiC への<0001>方向チャネリングイオン注入:Si 面とC 面は同じか?
グローバルネット株式会社

注目

名工大、加藤 正史

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RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

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