半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

Kiyoシリーズ

Lam Research

ラムリサーチのKiyoシリーズは、導電体を精密かつ高い再現性で形成できる高機能でかつ高生産性を発揮します。用途によっては当社のReliantRシリ…

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FLEXシリーズ

Lam Research

重要絶縁膜エッチ工程のために差別化された技術とアプリケーションを提供する装置

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A412 PLUS/A400

ASM International NV

A412:300mmウェーハ対応高性能縦型拡散/CVD装置 A400:200mm以下ウェーハ対応高性能縦型拡散/CVD装置

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AdvancedAce-300

Kokusai Electric株式会社

高生産性縦型装置

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TSURUGI-C2 剱

Kokusai Electric株式会社

次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

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Harrier-L

Eugene Technology

バッチ式高生産性LPCVD/プラズマALDプロセス対応装置

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縦型熱処理装置AVP/RVP/RVP-30

SPPテクノロジーズ株式会社

子会社SPT Microtechnologies USA社製品

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300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900

ジェイテクトサーモシステム株式会社

シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…

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レーザトリミング装置 LMT-TR

東レエンジニアリング株式会社

±2µm以下の高精度で除去するレーザトリミング装置

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フリップチップボンダー FC5000ML

東レエンジニアリング株式会社

高精度マイクロLED用フリップチップボンダー

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