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セミオートプローバー AP-200

株式会社アポロウエーブ
最終更新日: 2021年02月05日

-60℃~+350℃の温度特性評価、微小電流測定
20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応

◎8インチまでのウエハサイズに対応したセミオートプローバです。
◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。
◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。
◎オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。
◎画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できます。
◎制御ソフトはオペレーターが操作に迷わないように工程順にアイコンを並べるなど、操作性に優れています。
◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。
◎ダイ原点位置の登録後、画像処理により、自動で特徴パターンを検出し、リファレンスモデルとして登録する機能を有しています。
◎登録されたトレイ内に置かれた登録済みの個片チップを画像認識にて自動的に チップアライメントすることも可能です。(オプション)
◎ウエハの膨張などに対応するオートXYZを搭載できます。(オプション)
◎GP-IB通信で上位PC、測定器からセミオートプローバを制御することが可能です。

基本情報

対応ウエハサイズ ~8インチ
ステージXY移動量 X:220㎜ Y:400㎜
ステージXYZ 制御分解能 0.1μm
ステージXYZ再現性 ±2μm以内
ステージXY精度 ±5μm以内
ステージXY移動速度 30㎜/sec
ステージZ軸移動量 30㎜
ステージZ軸移動速度 25㎜/sec(Max)
ステージθ移動範囲 ±5deg
ステージθ制御分解能 0.001deg
外形寸法(W×D×H) 760×1000×1020㎜
重量 400kg

価格帯 1000万円以上 5000万円未満
納期 4ヶ月
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取扱企業

株式会社アポロウエーブ

業種:その他製造  所在地:大阪府 大阪市淀川区西中島 6-7-8 大昭ビル4F

プロービングソリューション

高周波、温度、微小電流測定などのニーズに応えるプローバ―、プローブカードメーカーです。

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