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CTA8280

Hangzhou ChangChuan Technology Co., Ltd.

第2世代デジタル／アナログ ハイブリッドテスタ

自動結晶引上装置TDR135A-ZJS

Jingsheng(JSG)

300mmウェーハ対応の単結晶引き上げ装置

ステッパ「600シリーズ」

Shanghai Micro Electronics Equipment(SMEE)　

i線～ArFまで対応する1：4スキャナ

PECVD装置NF-300H

Piotech

新世代の3次元フラッシュメモリチップ（3D NAND）に応用した国産初のプラズマCVD装置

PECVD装置PF-300T

Piotech

当社が独自に開発した100％知的財産権を有している300mm対応PECVD装置

ALD装置FT-300T

Piotech

当社が独自に開発した300mmウェーハ対応ALD装置

Prismo D-BLUE®

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

LEDエピタキシャルウェーハの大量生産のためにLED生産ラインに採用された国内最初のMOCVD装置

Primo Nanova

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

1Xnm以下のロジックおよびメモリデバイスのエッチング応用に革新的なソリューションを提供する最先端エッチング装置

Primo TSV

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

高性能、高生産性のディープシリコンエッチング製品

Primo HD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

NANDおよびDRAMチップ製造のための革新的なエッチングソリューションを提供する。