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圧力制御用バルブPCAシリーズ

株式会社キッツエスシーティー
最終更新日: 2020年12月14日

独自機構による封止方式を採用した、封止・スロー排気・調圧が1台で可能な高耐久APCバタフライバルブ

バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。

◎新開発のシートリング機構の採用
新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられた O-RING のねじれや脱落の問題を解消します。
また、フラッパーシール部がグリスレスのため、反応室を汚染しにくい構造です。
◎高耐久
シートリング機構採用により、O リングへのストレス低減、高い耐久性能を実現。
全開・全閉動作：300 万回
◎独自ヒーティングによる内部副生成物の低減
ボディだけではなくフラッパー内部もヒーティングすることにより、副生成物の多いプロセスへ優れた適応性を発揮します。（オプション）

基本情報

主な仕様
使用圧力 1x10-6Pa~0.101MPa
許容リーク量（ FKM の場合）
　外部許容リーク量：5x10-10Pa・m3/Sec 以下
　内部許容リーク量：1x10-8Pa・m3/sec 以下
許容最大差圧 0.101MPa
動作時間 全開←→全閉
（フラッパー＋シートリング）：約１秒
バルブ動作耐久回数 全開全閉 300 万回
使用周辺温度 5 ～ 50℃（41 ～ 122F）
材質（接ガス部） SUS316L
標準材質
　ボディ、フラッパー：316L,
　その他：アルミ　SUS304 相当、
　シーリング材（O リング）：FKM
電源電圧 DC24V+10%-5%（3A MAX）
通信形式 RS232C または アナログ
インターフェイス接続 　高密度　D-SUB26 極オス
圧力センサー入力 　最大 3ch（0-5V, 0-10V）

お問い合わせ

取扱企業

株式会社キッツエスシーティー

業種：機械要素・部品  所在地：東京都 大田区大森北 1-5-1

より良い品質とサービスで、お客様の信頼にお応え致します。

キッツエスシーティーは、バルブ総合メーカー「キッツグループ」の一員として、半導体プロセス用バルブをはじめとする流体制御機器、装置の開発、製造、販売、サービスを一貫体制でお客様の要望にお応え致します。
また、社会からの信頼を大切にして環境保全とコンプライアンス経営を基本として地球環境に優しい製品開発と生産活動をすることをお約束します。

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