神奈川県の製品一覧

FAM48BAW/SPAW

スピードファム株式会社

汎用片面研磨装置

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SM20B-5P-4D

スピードファム株式会社

300mm/200mm ウェーハ向け両面ポリッシュ装置

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DSM28B-5L-4D

スピードファム株式会社

300mm ウェーハ向け両面ラップ装置

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枚葉式複合モジュール型成膜加工装置 uGmni-200, 300

株式会社アルバック

スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能

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ENTRON-EX2 W300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。

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FlexAL(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

リモートプラズマ原子層堆積(ALD)プロセスおよび熱ALDの両方を実現

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PlasmaPro100ALE(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

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ENTRON N300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置

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Atomfab(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

GaNパワーデバイス業界向けプラズマALD 量産対応ソリューション

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MB85R8M2TA

富士通セミコンダクターメモリソリューション株式会社

100兆回の書き込みを保証する8MビットFRAM

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