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京都府の製品一覧

多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える

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国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

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最先端デバイスの特性改善に大きく貢献するフラッシュランプアニール装置

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毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム

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ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ

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16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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高信頼性、高速300mmウェーハ対応コータ・デベロッパ

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多様な基板へフレキシブルに対応するコータ・デベロッパ

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凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布するコータ・デベロッパ

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ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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