半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

DI4600

株式会社日立ハイテク

高性能暗視野式ウェーハ欠陥検査装置

DI2800

株式会社日立ハイテク

2022年発売。検出時間40枚/時間と高速検査が可能

DI4200

株式会社日立ハイテク

パターン付きウエハの異物欠陥を高感度・高速でモニタリングすることが可能な欠陥検査装置。

9000シリーズ

株式会社日立ハイテク

次世代デバイスプロセスに対応するため、コンダクターエッチング装置　9000シリーズでは、インターフェースを統一し、高精度にモジュール化した…

M-8000シリーズ

株式会社日立ハイテク

コンダクターエッチング装置　M-8000シリーズは、32nm世代以降のハードマスク、シリコン加工に対応したエッチング装置です。

E-600/8000シリーズ

株式会社日立ハイテク

不揮発性材料エッチング装置

E-6000シリーズ

株式会社日立ハイテク

磁気ヘッド用材料エッチング装置

CG6300

株式会社日立ハイテク

高分解能FEB測長装置(CD-SEM) CG6300 は、電子光学系を一新することにより分解能を高め、測長再現性および画質の向上を図りました。

CG5000

株式会社日立ハイテク

1Xnm世代開発及び22nm世代量産プロセス対応測長SEM

CV5000

株式会社日立ハイテク

最先端 デバイスパターンの深穴・溝底の回路線幅計測と、実デバイスパターン上でのオーバーレイ計測を可能とする高加速CD-SEM