アッシングの製品一覧
RISE-300
株式会社アルバック
バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…
Luminous NAシリーズ
Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーの…
Lambda300
Kokusai Electric株式会社
ダメージレスなプラズマ処理と高速アッシングを実現した枚葉式アッシング装置
ソリッドステートマイクロ波電源『300W』
東京計器株式会社
研究室での実験等に気軽に使用できるよう、冷却は空冷方式になり、ポータブルタイプで一人でも持ち運びができるようになっている。
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