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Lambda300

Kokusai Electric株式会社
最終更新日: 2024年05月30日

ダメージレスなプラズマ処理と高速アッシングを実現した枚葉式アッシング装置

・当社独自の高速搬送システムにより、高スループットを実現
・λシリーズを踏襲し、同じプラズマソース『ヘリカルリゾネータ』採用により、プラズマダメージレスと高速アッシングを実現
・当社独自のサセプタヒータによる高均一なウェーハ面内分布を実現
・省フットプリント、高稼働率
・ノーマルアッシング、ハイドーズアッシング、ライトエッチに対応

基本情報

ウェーハサイズ 300mm

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取扱企業

Kokusai Electric株式会社

業種:繊維  所在地:東京都 千代田区神田鍛冶町 3-4 oak神田鍛冶町5F

成膜装置のリーディングメーカーを目指す

 当社は、株式会社日立国際電気から独立して、新たにKKRファンドのもとで半導体製造装置事業の専門メーカーとして2018年6月1日より「株式会社KOKUSAI ELECTRIC」を新たにスタートしました。当社は新生会社として、この市場環境で変化するユーザニーズに、これまで培ってきた成膜技術をコアに先端技術でお応えし、成膜リーディングメーカーをめざしていきます。常にお客さま視点でのイノベーション企業として、スピーディーな事業オペレーションを展開し、高品質な製品・サービスの提供に努めてまいります。

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