ウェーハの製品一覧

NTS-20

川崎重工業株式会社

5軸構造水平多関節ダブルアームウェーハハンドリングロボット

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TTS-20

川崎重工業株式会社

(テレスコピック機構)5軸構造水平多関節ダブルアーム・ウェーハハンドリングロボット

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AR-Wn230CL

平田機工株式会社

軽量化・省スペース、高速搬送を実現。450mm ウェーハ搬送大気ロボット

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AR-Wn180CL-4-T-330

平田機工株式会社

300mmウェーハ対応大気搬送ロボット

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大気対応 AR-Wn180CL-5-TR-940

平田機工株式会社

多段装置に対応、300mmウェーハ搬送ロボット

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UTW-REH5500

株式会社ダイヘン

4軸円筒座標系高速ウェーハ搬送ロボット

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UT-AFX/W3000NM

株式会社ダイヘン

300mmウェーハ対応標準ロボット

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ACTRANS UT-VFX3000NM

株式会社ダイヘン

300mmウェーハ用シングルアーム真空ロボット

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CENTRIS SYM3エッチング装置

Applied Materials,Inc

1x/10nmノード以降の大量生産用の重要なエッチングアプリケーションにおいて、世界トップクラスのウェーハ間の均一性を前例のないチップ内図形制…

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