ゲート絶縁膜の製品一覧

GaN 自立基板上に作製したmist-Al2O3/n-GaN 構造の評価
グローバルネット株式会社

注目

熊本大、谷田部 然治

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MARORA

Kokusai Electric株式会社

次世代DRAM、ロジックのゲート絶縁膜形成、フラッシュメモリの絶縁膜形成に最適な枚葉プラズマ窒化・酸化装置

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