スループットの製品一覧

スピンスクラバSS-3300S

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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RR481L300

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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RR751L15

ローツェ株式会社

大気ロボット:高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン

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RR757L15

ローツェ株式会社

大気ロボット:スループットと高重量ハンド対応を両立した標準モデル

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RR481L200

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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RR481L220

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボッ

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WS-620C/ WS-820L

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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SS3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SU-3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SR8241

ニデックインスツルメンツ株式会社

コンパクト、高スループットモデル

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