省エネルギーの製品一覧

SiCエピタキシャルウェハ

株式会社レゾナック・ホールディングス

パワー半導体SiC は、省エネルギーのキーデバイスとして注目が高まっており、当社は世界最高レベルの品質を有するSiC パワー半導体エピタキシャ…

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EV-S型

株式会社荏原製作所

EV-S型はロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値…

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EV-M型

株式会社荏原製作所

EV-M型は、半導体・液晶・太陽電池セル製造工程の中で、反応副生成物が発生する高負荷プロセスに対応し、ダウンタイム抑制とランニングコスト低…

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ESR型

株式会社荏原製作所

ESR型は、ロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価…

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