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CMP装置の製品一覧

ウェーハや薄膜を、砥粒を添加して研磨、平坦面を作り出す装置

8インチウエハ向け試作評価向けCMP装置
グローバルネット 株式会社

注目

高剛性 幅広いCMP開発に対応可能。

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